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J-GLOBAL ID：200903082055426157

レーザ分岐装置及びレーザ光強度調整装置

Inventor： 奥山 寛之
Applicant, Patent owner： ミヤチテクノス株式会社
Agent (1)： 佐々木 聖孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996175772
Publication number (International publication number)：1998003045
Application date： Jun. 14, 1996
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 レーザモードを崩さずにレーザ光の強度を連続的に可変調整できるレーザ光強度調整装置を提供する。【解決手段】 第1の減衰板18は、ガラスまたは石英等からなる基板18aの表面または背面に、YAGレーザ光に対する反射率Rおよび透過率Tが基板の長手方向Xにおいて第1の変化率αで連続的に変化するように多層膜の部分反射透過膜18bをコーティングしている。第2の減衰板20は、第1の減衰板と同一の構成を有しており、第1の減衰板に対して180 ゚回転した姿勢で配置されている。これにより、第2の減衰板の基板20a上にコーティングされている部分反射透過膜20bの透過率および反射率はX方向において第1の変化率αとは極性が逆で絶対値が等しい第2の変化率-αで連続的に変化する。レーザ光LBの光路が通る両減衰板の位置は、減衰板位置調整機構によりそれぞれ任意に調整できる。

Claim (excerpt)：

1つの原レーザ光から複数の分岐レーザ光を生成するレーザ分岐装置において、前記原レーザ光の光路上に配置され、入射したレーザ光を所定の反射率で所定の方向に反射せしめると同時に所定の透過率で透過せしめる1個または複数個の分光ミラーと、前記分光ミラーからの反射光または透過光の光路上に配置され、前記原レーザ光の波長に対する透過率が所定の方向において第1の変化率でほぼ連続的に変化する第1の減衰板と、前記分光ミラーからの反射光または透過光の光路上に配置され、前記レーザ光の波長に対する透過率が前記所定の方向において前記第1の変化率と極性が逆で絶対値がほぼ等しい第2の変化率でほぼ連続的に変化する第2の減衰板と、前記第1および第2の減衰板に入射するレーザ光がそれぞれ所望の透過率で透過するように前記第1および/または第2の減衰板の位置を調整するための減衰板位置調整手段とを具備することを特徴とするレーザ分岐装置。

IPC (5)：

G02B 26/02 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G02B 27/10 ,  H01S 3/00

FI (6)：

G02B 26/02 B ,  B23K 26/00 N ,  B23K 26/06 C ,  B23K 26/06 J ,  G02B 27/10 ,  H01S 3/00 B