走査型近視野光学顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997094122
Publication number (International publication number)：1998282120
Application date： Apr. 11, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】近接場光観察と分光分析とを同時または切り換えて行うことが可能な走査型近視野光学顕微鏡を提供する。【解決手段】レーザー光源7から放出されたレーザー光は、第二のレンズ5によって集光されてプローブ3に導入され、プローブ3の先端を試料1に近接させエバネッセント光を散乱させる。この光は、試料1を透過して第一のレンズ12に到達し、平行光となり、第一の反射ミラー20によってその方向を変換して第一の光軸切換器21に入る。第一の光軸切換器21内にある第二の反射ミラー24でその方向を変換してXYZ光軸調整機構26の中の第四のレンズ27と第五のレンズ28を通過し、ピンホール29を通り分光器30に導入される。さらに、分光器30で光の波長と強度に応じた電気信号に変換して、データ処理手段18に送られる。データ処理手段18で分光スペクトルに変換されると同時に、試料表面の二次元走査による形状観察像を得ることができる。

Claim (excerpt)：

試料表面を局所的に照射するレーザー光を発生するレーザー光源と、レーザー光を試料に導く光導波路と、先端に微小開口部を有する光導波プローブと、試料表面から発した光を集める集光手段と、試料表面からの光情報を検出して電気信号に変換する光検出器と、試料と光導波プローブを相対的に移動させる移動手段と、試料表面と光導波プローブ先端の間の距離を制御する距離制御手段とを有する走査型近視野光学顕微鏡において、試料表面からの発光を分光分析する分光器と、試料表面からの発光を分光器に導く鏡筒と試料表面からの発光を光検出器側と分光器側に分離する切り換え器とを備え、試料の近接場光観察と分光分析の両方を同時または切り換えて行えることを特徴とする走査型近視野光学顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 11/30 , H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 D , G01B 11/30 Z , H01J 37/28 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

走査型近視野顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-054092 Applicant：セイコー電子工業株式会社

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