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J-GLOBAL ID：200903082071391070

レーザイオン化中性粒子質量分析装置およびレーザイオン化中性粒子質量分析方法

Inventor： 東 康弘 ,  丸尾 哲也
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 三好 秀和 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993272247
Publication number (International publication number)：1995130327
Application date： Oct. 29, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 被分析物の量を高い精度で定量することができるレーザイオン化中性粒子質量分析装置およびレーザイオン化中性粒子質量分析方法を提供する。【構成】 パルスレーザ発生器17から発生するパルスレーザ18をスリット20の可変開口幅19を介して該パルスレーザ18の空間形状を変化させ、この空間形状の変化したパルスレーザを中性粒子発生装置15からの中性粒子16に照射することにより該中性粒子16をイオン化して光励起イオン22を発生させ、該光励起イオンを質量分析器24で質量分離し、この質量分離したイオンをイオン検出器25で検出している。

Claim (excerpt)：

パルスレーザ光を発生し、該パルスレーザ光を真空中で被分析物の中性粒子に照射することにより該中性粒子をイオン化して光励起イオンを発生させるパルスレーザ発生器、前記光励起イオンを質量分離する質量分析器、および該質量分析器により質量分離されたイオンを検出するイオン検出器を有するレーザイオン化中性粒子質量分析装置であって、前記パルスレーザ発生器から発生するパルスレーザ光の空間形状を変化させるように変化する開口幅を有するスリット手段を有することを特徴とするレーザイオン化中性粒子質量分析装置。