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J-GLOBAL ID：200903082087242643
光線発生装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 常明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993279067
Publication number (International publication number)：1995111353
Application date： Oct. 12, 1993
Publication date： Apr. 25, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ヘリコン波プラズマ発光光を得ること。【構成】 ヘリコン波プラズマ発生装置の放電管に、その内部で発生したヘリコン波プラズマ発光光を透過させて外部に取り出すための窓を設ける。
Claim (excerpt)：
放電管に軸方向に静磁場及び高周波電力を印加すると共に、該放電管の内部に所定の圧力で所定のガスを封入し、該放電管の内部にヘリコン波プラズマを発生させるプラズマ発生装置において、該プラズマ発生装置に上記内部で発生したヘリコン波プラズマ発光光を透過させて外部に取り出すための窓を設けたことを特徴とする光線発生装置。
IPC (4)：
H01S 3/09
, G21K 5/00
, H01J 65/04
, H05H 1/46
