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J-GLOBAL ID：200903082138846727

半導体集積回路装置およびその製造方法

Inventor： 鯨井 裕 ,  奥山 幸祐 ,  秦 和博 ,  大湯 静憲 ,  永井 亮 ,  内山 博之 ,  熊内 隆宏 ,  一瀬 晃之
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日本電気株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001253028
Publication number (International publication number)：2003068878
Application date： Aug. 23, 2001
Publication date： Mar. 07, 2003
Summary：

【要約】【課題】 MISFETのポリメタルゲートを構成する金属の汚染を低減することによりリーク電流の低減を図る。【解決手段】 p型ウエル3(半導体基板)上のゲート絶縁膜8上に堆積された多結晶シリコン膜9a、WN膜9b、W膜9cおよびキャップ絶縁膜10aのうち、キャップ絶縁膜10a、W膜9cおよびWN膜9bをエッチングし、さらに、その下層の多結晶シリコン膜9aをオーバーエッチングし、、これらの膜の側壁にサイドウォール膜SWを形成し、このサイドウォール膜SWをマスクに、多結晶シリコン膜9aをエッチングした後、酸化性雰囲気下で熱処理することにより、多結晶シリコン膜9aの側壁にライト酸化膜11aを形成する。その結果、Wやその酸化物によるゲート絶縁膜8上の汚染を低減することができ、これらの物質が半導体基板(p型ウエル3)中に拡散し、リーク電流が増加することを防止することができる。

Claim (excerpt)：

(a)半導体基板上に第1絶縁膜を介してシリコン膜を形成する工程と、(b)前記シリコン膜上に高融点金属膜を形成する工程と、(c)前記高融点金属膜上に第2絶縁膜を形成する工程と、(d)前記第2絶縁膜、前記高融点金属膜を所定の形状に加工する工程と、(e)前記第1絶縁膜が露出しないように、前記所定形状の金属膜から露出した部分の前記シリコン膜を、所定の厚さだけエッチング除去する工程と、(f)前記高融点金属膜の下部に残った前記シリコン膜の側壁、前記高融点金属膜及び前記第2絶縁膜の側壁に選択的に第3絶縁膜を形成する工程と、(g)前記第3絶縁膜から露出した部分の前記シリコン膜を除去する工程と、(h)前記シリコン膜表面を酸化性雰囲気で熱処理をし、前記シリコン膜の側壁に第4絶縁膜を形成する工程と、からなることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。

IPC (4)：

H01L 21/8242 ,  H01L 21/768 ,  H01L 27/108 ,  H01L 29/78

FI (3)：

H01L 27/10 621 C ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 21/90 C

F-Term (93)：

5F033HH04 ,  5F033HH19 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN20 ,  5F033PP06 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ76 ,  5F033QQ96 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033SS13 ,  5F033TT02 ,  5F033TT07 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV16 ,  5F033XX00 ,  5F033XX31 ,  5F033XX34 ,  5F083AD10 ,  5F083GA27 ,  5F083GA30 ,  5F083JA02 ,  5F083JA32 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083NA01 ,  5F083PR03 ,  5F083PR05 ,  5F083PR06 ,  5F083PR21 ,  5F083PR29 ,  5F083PR39 ,  5F083PR40 ,  5F140AA24 ,  5F140AB09 ,  5F140AC32 ,  5F140BA01 ,  5F140BC06 ,  5F140BE07 ,  5F140BF04 ,  5F140BF20 ,  5F140BF21 ,  5F140BF27 ,  5F140BF42 ,  5F140BG08 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG38 ,  5F140BG49 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BG58 ,  5F140BG60 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ04 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK27 ,  5F140BK29 ,  5F140BK30 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CC12 ,  5F140CE06 ,  5F140CE07