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J-GLOBAL ID:200903082206228794
ラクトン環含有重合体、製造方法およびその用途
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
松本 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002006713
Publication number (International publication number):2002356520
Application date: Jan. 15, 2002
Publication date: Dec. 13, 2002
Summary:
【要約】【課題】 感光性樹脂組成物として、後工程での熱処理において分解による地汚れ、平滑性低下、膜厚の減少、着色を生じることなく均一な塗膜を高い塗膜強度で形成することができ、しかも露光感度が良好である、といった優れた性能を発揮しうる新規なラクトン環含有重合体を提供する。【解決手段】 2-(ヒドロキシアルキル)アクリル酸エステルと酸基を有するモノマーとを含む単量体成分から得られるラクトン環含有重合体(a)であって、側鎖にラジカル重合性二重結合を有することを特徴とする。
Claim (excerpt):
2-(ヒドロキシアルキル)アクリル酸エステルと酸基を有するモノマーとを含む単量体成分から得られるラクトン環含有重合体(a)であって、側鎖にラジカル重合性二重結合を有する、ことを特徴とするラクトン環含有重合体。
IPC (6):
C08F220/28
, C08F 8/00
, C08F290/12
, G02B 1/04
, G02B 5/20 101
, G03F 7/038 501
FI (6):
C08F220/28
, C08F 8/00
, C08F290/12
, G02B 1/04
, G02B 5/20 101
, G03F 7/038 501
F-Term (41):
2H025AA01
, 2H025AA10
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC53
, 2H025BC83
, 2H025BC85
, 2H025BC86
, 2H048BA02
, 2H048BA45
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 4J027AA01
, 4J027BA04
, 4J027BA05
, 4J027BA07
, 4J027BA08
, 4J027BA19
, 4J027BA20
, 4J027BA21
, 4J027BA23
, 4J027BA24
, 4J027BA25
, 4J027BA26
, 4J027BA27
, 4J027CB01
, 4J027CB09
, 4J027CD10
, 4J100AJ02Q
, 4J100AJ08Q
, 4J100AK31Q
, 4J100AK32Q
, 4J100AL29P
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100JA37
, 4J100JA38
, 4J100JA39
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