ビームダクト

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994184871
Publication number (International publication number)：1996050999
Application date： Aug. 05, 1994
Publication date： Feb. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】真空容器の組込みや、ベーキングがし易く、信頼性の向上を図ることにある。【構成】内部に電子やイオンのビームを通す薄肉の筒状の真空容器7の外表面に補強リブ8を取付けてなるビームダクトにおいて、前記真空容器の少なくとも一端部に長さ調整用のベローズダクト6を設け、このベローズダクト6を真空容器7と一体に成形したものである。

Claim (excerpt)：

内部に電子やイオンのビームを通す薄肉の筒状の真空容器の外周面に補強リブを取付けてなるビームダクトにおいて、前記真空容器の少なくとも一端部に長さ調整用のベローズダクトを設け、このベローズダクトを真空容器と一体に成形したことを特徴とするビームダクト。

IPC (2)：

H05H 7/14 , H05H 13/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

真空容器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-135337 Applicant：日本発条株式会社
荷電粒子加速装置の真空ダクト用ダクト単管の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-246492 Applicant：イーグル工業株式会社
特開昭64-082500

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