Pat
J-GLOBAL ID：200903082305657443
研磨用ウエハ保持部材及びそのウエハ保持部材の定盤への装着方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995012965
Publication number (International publication number)：1996203849
Application date： Jan. 30, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：
【要約】【目的】 研磨用ウエハ保持部材を気泡介在等の問題なく高精度に、しかも容易に研磨機定盤上に粘着することができ、しかも研磨作業中における厚み変化を最小とした研磨用ウエハ保持部材とその装着方法を提供すること。【構成】 研磨用ウエハ保持部材は、透明なシート状基材1と、基材1の表面に形成されており、研磨用ウエハを装着し得る表面層2と、基材1の裏面側に形成された電子線硬化型粘着剤層4と、を有する。上記粘着剤層4の裏面に、空気抜き用の微細な突条4aが形成されているのが好ましい。
Claim (excerpt)：
透明なシート状基材と、該基材の表面に形成されており、研磨用ウエハを装着し得る表面層と、該基材の裏面に形成された電子線硬化型粘着剤層と、を有する研磨用ウエハ保持部材。
IPC (3)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/304
, B23Q 3/08
