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J-GLOBAL ID：200903082311438958

露光装置

Inventor： 白石 雅之
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (2)： 渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002317373
Publication number (International publication number)：2004153064
Application date： Oct. 31, 2002
Publication date： May. 27, 2004
Summary：

【課題】光学素子を安定及び効率的に冷却できる冷却機構を備えた露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】露光チャンバ120内において、反射鏡122は鏡筒131内に配置されている。反射鏡122は、ヒートパイプ10で冷却されている。ヒートパイプの吸熱部11が、反射鏡122に固定されており、放熱部13は露光チャンバ120の外部の放熱機構133に固定されており、放熱機構133の高さ位置は、反射鏡122の高さ位置より、差Hだけ相対的に高い位置にある。ヒートパイプ10の吸熱部11を下、放熱部13を上とすることによりヒートパイプによる熱輸送効率が高くなる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

EUV光を発生させるX光源と、この光源から反射型レチクルにEUV光を導く照明光学系と、前記反射型レチクルにより反射されるEUV光を感応基板に導く投影光学系と、前記各部を収容する真空チャンバと、 を備え、 前記反射型レチクルに形成されているデバイスパターンを前記感応基板へ転写する露光装置であって、 さらに、前記レチクル、又は、前記照明光学系若しくは投影光学系を構成する光学素子を冷却するヒートパイプを備え、 該ヒートパイプの放熱側が、前記レチクル又は光学素子に接続される吸熱側より相対的に高い位置にあることを特徴とする露光装置。

IPC (5)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02

FI (8)：

H01L21/30 516E ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521 ,  G21K1/06 P ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A

F-Term (9)：

2H097AA02 ,  2H097BA10 ,  2H097CA15 ,  2H097JA02 ,  2H097LA10 ,  5F046DA26 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01