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J-GLOBAL ID：200903082331875807
リード外観検査方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997040375
Publication number (International publication number)：1998239245
Application date： Feb. 25, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】半導体装置等のリードに付着した微小異物と、リード上のきず痕等を自動判別できるリード外観検査方法を提供する。【解決手段】撮像部で取得した画像情報の異物候補点に対し、候補点境界近傍の明るさの変化の一次微分値,同微分値とリード全体微分値の比、及び候補点近傍の濃淡データ平均値の隣接リードとの比等の濃淡画像情報を使用して、既入力の判定値とそれぞれ比較,判定させる。
Claim (excerpt)：
半導体製品あるいは電子部品のリード上の異物検査を行うために、検査対象物の画像を入力するための撮像部,上記撮像部より入力した画像を処理し、処理結果より判定を行うための処理判定部,判定値を入力,変更するための判定値入力部、及び判定値記憶部を有する検査装置において、画像内リード上の不良候補点に対し、その候補点境界部分微分値,境界部微分値とリード全体微分値との比,候補点近傍濃淡値平均と隣接リードの同部分濃淡値平均との比を、それぞれ所定の判定値と比較することによって異物の有無を判定することを特徴とするリード外観検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 F
, G01B 11/30 C
