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J-GLOBAL ID:200903082334548742
抵抗ガス検出法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
石田 敬 (外2名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1995528074
Publication number (International publication number):1997512632
Application date: May. 01, 1995
Publication date: Dec. 16, 1997
Summary:
【要約】抵抗ガスセンサーは、多孔性、半導体酸化物本体であって、その孔表面が貴金属で被覆されている。このセンサーは、標的ガス、特に一酸化炭素の検出と測定とのために周囲温度で動作する。この目的のために、酸化物と金属相とのパラメータが定義される。このセンサーは暗黒中で最も良く動作し、発振回路に接続して、ガス濃度を表す出力信号が周波数信号となるようにしてもよい。
Claim (excerpt):
抵抗ガスセンサーは、半導体酸化物の多孔性センサー本体の孔表面が金属相で被覆され、該多孔性センサー本体を含んでなり、 半導体酸化物は、該酸化物の一次結晶子の大きさの10倍未満の凝集体の大きさを有し、前記一次結晶子の平均サイズは5ミクロン未満であり、かつ、 0.05〜80%の孔表面積の割合が、金属相によって被覆され、前記金属相が平均サイズ50ナノメータ未満の粒子から成ることを特徴とする抵抗ガスセンサー。
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