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J-GLOBAL ID:200903082398469609

圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 清水 守
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997301675
Publication number (International publication number):1999143542
Application date: Nov. 04, 1997
Publication date: May. 28, 1999
Summary:
【要約】【課題】 衝撃体の摺動面に与えられる摩擦力の影響を最小限にし、運動エネルギーを効率的に利用することができる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を提供する。【解決手段】 圧電素子22の一方側に取り付けられる慣性体21と、前記圧電素子22のもう一方側に取り付けられる衝撃体23と、前記慣性体21と前記衝撃体23が取り付けられた移動方向に予圧を与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体21及び前記衝撃体23をガイドするローラガイド又は低摩擦係数の摺動面25及び26と、前記圧電素子22に外部より電圧パターンを与える手段とを具備している。
Claim (excerpt):
圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置において、(a)圧電素子の一方側に取り付けられる慣性体と、(b)前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる衝撃体と、(c)前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を与える衝撃体移動方向予圧手段と、(d)前記慣性体及び前記衝撃体をガイドする案内手段と、(e)前記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
IPC (3):
G05D 3/00 ,  H01L 41/09 ,  H02N 2/00
FI (3):
G05D 3/00 G ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 C
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (9)
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