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J-GLOBAL ID：200903082401410769

XPS定量分析法

Inventor： 薄木 智亮 ,  谷山 明
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994245498
Publication number (International publication number)：1996110313
Application date： Oct. 11, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】【構成】 バックグラウンド31除去した主ピーク32及びSUSピーク33を積分してピーク強度INi、Iiを求め、このピーク強度INi、Iiを試料を構成するNi等の元素の原子軌道別に設定した強度係数αNi(=0.6)、αiで補正した感度係数SNi、Siで除してNi元素等の組成Caを求めるXPS定量分析法。【効果】 テール部のピーク強度もピーク強度INi、Iiに含めることができるため、標準試料に関する分析値との対比・補正を必要とすることなく、固体試料を構成するNiをはじめ多種類の元素を簡単、かつ確実に定量することができる。

Claim (excerpt)：

下記の数1を用いて元素aの組成Caを求めるXPS定量分析法であって、直線法によりバックグラウンド除去した主ピーク、または主ピーク及びシェイクアップサテライトピークを積分してピーク強度Ia、Iiを求め、該ピーク強度Ia、Iiを試料を構成する元素の原子軌道別に設定した強度係数αa 、αi で補正した感度係数Sa、Siで除して元素aの組成Caを求めることを特徴とするXPS定量分析法。【数1】