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J-GLOBAL ID：200903082410680647
可動板を有するスピンコーター
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木内 光春
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993072018
Publication number (International publication number)：1994015217
Application date： Mar. 30, 1993
Publication date： Jan. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ワーク端面と裏面への不必要な表面被覆剤の付着が生じない、スピンコーターを提供する。【構成】 長方形のワーク台11の周囲に円盤14を配設する。ワーク台11の長辺の両外側に、各々1枚づつの対称な可動板15,16を相互に対称に配設する。各可動板のワーク1側に接触辺17,18を形成する。各可動板の下面に2本づつのガイドピン19を設け、これらを、対応する円盤のガイド溝20にスライド自在に挿入する。各ガイドピン19の先端には膨大部19aを形成する。各ガイド溝20は、各ガイドピン閉位置20aから各ガイドピン開位置20bに亘って形成する。各ガイド溝20の緩傾斜部20dは、各可動板の重心Aに働く遠心力の方向Gからみて、鈍角αに形成する。閉位置における可動板上面をワーク1上面とほぼ同一高さとして接触または近接させる。
Claim (excerpt)：
四角形をしたワークの支持面を有する回転テーブルと、この回転テーブルの駆動手段と、ワークの表面に対する表面被覆剤の塗布手段とを備えたスピンコーターにおいて、前記回転テーブルには、ワークの相対する2辺または4辺の外側に、ワークに向かって開閉動可能なように取り付けられた可動板が配設され、各可動板には、その閉位置において、回転テーブルに搭載されたワークの端面と接触もしくは近接する接触辺が設けられ、各可動板の接触辺は少なくとも前記端面を有するワークの辺の半分以上の長さを有し、可動板上面はワーク上面とほぼ同一の高さに位置することを特徴とする可動板を有するスピンコーター。
IPC (3)：
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
