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J-GLOBAL ID：200903082435615645
シリコンインゴット製造用積層ルツボおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
富田 和夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998045460
Publication number (International publication number)：1999248363
Application date： Feb. 26, 1998
Publication date： Sep. 14, 1999
Summary：
【要約】【課題】 亀裂発生のないシリコンインゴットを製造するための積層構造を有するシリコンインゴット製造用積層ルツボおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 50〜300μmの微細溶融シリカ砂31を含む内層シリカ層3と、500〜1500μmの粗大溶融シリカ砂41を含む外層シリカ層4からなる積層構造を有するシリコンインゴット製造用積層ルツボ。
Claim (excerpt)：
50〜300μmの微細溶融シリカ砂をシリカで結合した層を少なくとも1層含む内層シリカ層と、500〜1500μmの粗大溶融シリカ砂をシリカで結合した層を少なくとも1層含む外層シリカ層からなる積層構造を有することを特徴とするシリコンインゴット製造用積層ルツボ。
IPC (2)：
FI (2)：
F27B 14/10
, H01L 31/04 X
