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J-GLOBAL ID：200903082442920518

検査顕微鏡システム

Inventor：
村上 勝治

About 村上 勝治


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998228160
Publication number (International publication number)：2000056235
Application date： Aug. 12, 1998
Publication date： Feb. 25, 2000
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、効率よく、しかも正確に被検査箇所の検査を行なうことができる検査顕微鏡システムを提供する。【解決手段】スポット照明観察系の対物レンズ6を介して投影される標本7の観察像をTVカメラ10で撮像するとともに、この撮像画像を画像処理部23に取り込み、画像中で被検査箇所に対して指標を付与すると、この指標に対するステージ座標が位置解析部25により算出され、その後、検査したい被検査箇所の指標を指示すると、指標に対応するステージ座標に基づいて被検査箇所がスポット照明観察系の視野中心まで移動され、顕微鏡観察系に切換えることで自動的に被検査箇所が顕微鏡観察系の対物レンズ11の真下まで移動する。
Claim (excerpt)：
倍率の異なる少なくとも2つの観察系を有し、低倍率の観察系で観察した試料の検査結果に基づいて高倍率の観察系により顕微鏡観察を行なう検査顕微鏡システムにおいて、少なくとも前記低倍率の観察系による試料の観察像を撮像する撮像手段と、この撮像手段の撮像画像中の被検査箇所に対して指標を挿入可能にした画像処理手段と、この画像処理手段により挿入された指標に基づいて前記高倍率の観察系による顕微鏡観察への移行を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする検査顕微鏡システム。
IPC (3)：
G02B 21/18 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88
FI (3)：
G02B 21/18 ,  G01N 21/84 D ,  G01N 21/88 E
F-Term (21)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC15 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051ED01 ,  2G051FA04 ,  2H052AB05 ,  2H052AB10 ,  2H052AB21 ,  2H052AB24 ,  2H052AB25 ,  2H052AC04 ,  2H052AD16 ,  2H052AD18 ,  2H052AD19 ,  2H052AF03 ,  2H052AF14 ,  2H052AF23 ,  2H052AF25
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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