半導体基板保管箱、半導体基板の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：荒船良男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001244178
Publication number (International publication number)：2003060021
Application date： Aug. 10, 2001
Publication date： Feb. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】シリコン単結晶ウェーハを収納・保管する際にシミが付着することを防止できる半導体保管箱と、シミ付着を防止できる半導体基板の製造方法を提供する。【解決手段】箱体と、蓋体と、箱体と蓋体との間に介装されて両者間を密封するガスケットと、を備える半導体基板保管箱において、ガスケットをポリエステル系エラストマー材質で構成する。気相エピタキシャル成長前においてウェーハを保管する際には、前記半導体基板保管箱に収納する。

Claim (excerpt)：

箱体と、蓋体と、箱体と蓋体との間に介装されて両者間を密封するガスケットと、を備える半導体基板保管箱において、前記ガスケットは、主にポリエステル系エラストマーにより構成されることを特徴とする半導体基板保管箱。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B65D 53/02 , B65D 85/86

FI (3)：

H01L 21/68 T , B65D 53/02 , B65D 85/38 R

F-Term (31)：

3E084AA05 , 3E084AB10 , 3E084BA03 , 3E084CA03 , 3E084DA03 , 3E084DB14 , 3E084FA09 , 3E084FD02 , 3E084GA08 , 3E084GA10 , 3E084GB13 , 3E084GB21 , 3E084HA03 , 3E084HB08 , 3E084HC03 , 3E084HD03 , 3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA02 , 3E096CB03 , 3E096DA25 , 3E096DC02 , 3E096EA02 , 3E096FA03 , 3E096FA22 , 3E096GA13 , 5F031CA02 , 5F031EA01 , 5F031EA14 , 5F031PA26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

半導体ウェーハ包装容器用ガスケット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-330802 Applicant：コマツ電子金属株式会社
合成樹脂製容器の密閉構造と密閉用ガスケット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-051730 Applicant：小松化成株式会社, 株式会社小松製作所
吸音フィルム及びそれよりなる吸音積層体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-286756 Applicant：東ソー株式会社

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