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J-GLOBAL ID：200903082453666907

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： 河辺 保雅 ,  佐藤 健一郎 ,  青合 利明
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998170197
Publication number (International publication number)：2000047385
Application date： Jun. 17, 1998
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】露光光源として、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光を用いた場合、残膜率、レジストプロファイルが優れるとともに、現像欠陥の問題が生ぜず、しかも半導体製造プロセス上安定性の優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線により酸を発生する化合物、(C)分子量が1000以下のカルボン酸無水物、(D)含窒素塩基性化合物、並びに(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物が提供される。

Claim (excerpt)：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線により酸を発生する化合物、(C)分子量が1000以下のカルボン酸無水物、(D)含窒素塩基性化合物、並びに(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (17)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20