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J-GLOBAL ID：200903082454151617
分光素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
坂本 徹 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994330670
Publication number (International publication number)：1996160195
Application date： Dec. 07, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：
【要約】【目的】 SOR光照射時の局部的な変形を可及的抑制するとともに、製造性が顕著に改善された分光素子を提供する。【構成】 外表面である上面2aと平行な複数の冷却水流路2dが内蔵された銅製のホルダ4と,ホルダ4の上面2aにシリコンスパッタリング層として形成された分光結晶層12とからなる分光素子1。分光結晶層12へのSOR光照射時には冷却水流路2d内に冷却水を流して分光結晶層12を裏面側から水冷することができるとともに、加工性の悪いシリコンに対してはスパッタリングを行うだけで他の加工を行わないため分光素子1の加工性が大巾に改善される。
Claim (excerpt)：
外表面と平行な1本または複数本の冷却液体流路が内蔵された熱伝導性の良好な金属からなるホルダと,当該ホルダの前記外表面の少なくとも一部に成膜された分光結晶層とを組み合わせて備えることを特徴とする分光素子。
IPC (2)：
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