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J-GLOBAL ID：200903082454884231

カソードアークコータのアーク制御装置

Inventor： ラッセル エイ.ビアーズ ,  ティルス イー.ロイヤル
Applicant, Patent owner： ユナイテッド テクノロジーズ コーポレイション
Agent (1)： 志賀 富士弥 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998245461
Publication number (International publication number)：1999140631
Application date： Aug. 31, 1998
Publication date： May. 25, 1999
Summary：

【要約】【課題】 コスト効果良く、かつ、均一で高品質のコーティングを基体に対して行うことを可能とするカソードアーク気相堆積装置を提供する。【解決手段】 カソードアーク気相堆積法によって材料を基体12にコーティングするための装置10は、容器14と、この容器を真空に維持するための装置16と、ディスク形状のカソード18と、このカソード18とアノード24の間でアークの電気エネルギーを選択的に維持させるための手段22と、上記カソードに対して上記アークを移動させるための手段74と、を有している。上記カソード18と上記アノード24の間に延びるアークの電気エネルギーは、上記容器内部に配置された基体に連続的に堆積されるカソード部分を蒸発させるようになっている。

Claim (excerpt)：

カソードアーク気相堆積法により材料を基体に堆積させるための装置であって、容器と、前記容器を真空に維持するための手段と、前記容器内に配置され、第1の端面と第2の端面とこれらの端面の間に延びた蒸発面とを備えたディスク形状のカソードと、アークによる電気エネルギーを前記蒸発面とアノードの間で選択的に支持するための手段と、前記カソードに近接して位置決めされ、前記カソードにまで入り込む磁界を発生させるとともに、前記アークを前記蒸発面を巡るようにして移動させるための手段とを有し、前記カソードと前記アノードの間に延びた前記アークの電気エネルギーにより、前記容器内に配置された前記基体に連続的に堆積される前記カソード部分を蒸発させることを特徴とする装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 真空放電蒸着に用いる基板被覆方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-091888   Applicant：ヴエイパーテクノロジイズ,インコーポレイテツド