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J-GLOBAL ID：200903082487294120

非接触式光プローブおよびその製造方法、および そのプローブを用いた光記録再生装置若しくは 走査型近接場顕微鏡

Inventor： 大澤 日佐雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996000807
Publication number (International publication number)：1997184930
Application date： Jan. 08, 1996
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 本発明の目的は、光の波長に比べ微小な開口部を有した近接場顕微鏡用プローブまたは光記録再生用ヘッドにおいて、強い光強度を有したプローブまたはヘッドを提供することにある。【解決手段】 一端が非常に微小な開口径を有し、光を透過する物質で形成された中空の管1と、中空の管1の外面に形成され、中空の管1の内部を伝搬する光を内面で反射する反射膜2と、中空の管1の内部に有し、光が透過し中空の管1を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で形成された導波路部3とを備えた。

Claim (excerpt)：

一端が非常に微小な開口径を有し、光を透過する物質で形成された中空の管と、前記中空の管の外面に形成され、前記中空の管の内部を伝搬する光を内面で反射する反射膜と、前記中空の管の内部に有し、光が透過し前記中空の管を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で形成された導波路部とを備えたことを特徴とする非接触式光プローブ

IPC (6)：

G02B 6/02 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/27 ,  G02B 6/20 ,  G11B 7/135 ,  G11B 7/22

FI (6)：

G02B 6/02 C ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/27 E ,  G02B 6/20 Z ,  G11B 7/135 A ,  G11B 7/22