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J-GLOBAL ID：200903082490622340

真空吸着装置およびその製造方法

Inventor： 佐藤 伸也 ,  小倉 知之 ,  梅木 亜希子 ,  塩貝 達也
Applicant, Patent owner： 太平洋セメント株式会社
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004012057
Publication number (International publication number)：2005205507
Application date： Jan. 20, 2004
Publication date： Aug. 04, 2005
Summary：

【課題】 平坦度の良好な吸着面を備え、使用時にもその吸着面の平坦度が維持される真空吸着装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 真空吸着装置10は、開気孔を備えた多孔質組織を有し、その表面でウエハWを吸着保持する載置部11と、載置部11を支持する支持部12から構成される。支持部12の内底に凹凸部18を形成し、載置部11の下面にこの凹凸部18と嵌合する凹凸部19を形成し、載置部11と支持部12とを実質的に隙間なく直接に接合した。載置部11に真空吸引力を発生させるための吸気孔として、凹凸部18の凸壁18aに載置部11が有する開気孔と連通する溝部13aを設け、この溝部13aと連通するように支持部12に第1貫通孔13bを設けた。【選択図】 図4

Claim (excerpt)：

開気孔を備えた多孔質組織を有し、その表面で被処理物を吸着保持する載置部と、 前記載置部を支持し、前記載置部が有する開気孔と連通する吸気孔を備えた支持部と、 を具備し、 前記載置部と前記支持部とは、実質的に隙間なく直接に接合されていることを特徴とする真空吸着装置。

IPC (5)：

B24B37/04 ,  B23Q3/08 ,  B25J15/06 ,  H01L21/304 ,  H01L21/68

FI (6)：

B24B37/04 H ,  B23Q3/08 A ,  B25J15/06 A ,  H01L21/304 622H ,  H01L21/68 B ,  H01L21/68 P

F-Term (26)：

3C007AS24 ,  3C007FS01 ,  3C007FT10 ,  3C007FT11 ,  3C007FT12 ,  3C007NS13 ,  3C016CE05 ,  3C016DA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA32 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA13 ,  5F031MA22 ,  5F031MA33 ,  5F031PA14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭53-090871号公報
  
• 特開昭61-182738号公報