Pat

J-GLOBAL ID：200903082516756049

ULSI用途のためにシロキサンポリマーで処理されたナノポーラスシリカ

Inventor： ルザーフォード,ニコル ,  ラモス,テレサ ,  ウー,ホゥイ-チュン ,  カトサネス,ロン ,  ドレイジ,ジェイムス
Applicant, Patent owner： アライドシグナル インコーポレイテッド
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001519479
Publication number (International publication number)：2003508895
Application date： Aug. 23, 2000
Publication date： Mar. 04, 2003
Summary：

【要約】基板上にナノポーラスシリカ誘電体コーティングを形成し、そしてその形成されたナノポーラスシリカ誘電体コーティングをポリマー前駆体を含む被覆組成物でもって被覆し、その際に処理されたナノポーラスシリカ誘電体コーティング上に強度増強及び/または疎水性増強層を形成するのに有効な条件下で被覆を行う工程を含む方法によって、作られる表面被覆付ナノポーラスシリカ誘電体膜。

Claim (excerpt)：

基板上にナノポーラスシリカ誘電体コーティングを形成し、そしてその形成されたナノポーラスシリカ誘電体コーティングをポリマー前駆体を含む被覆組成物でもって被覆し、その際に処理されたナノポーラスシリカ誘電体コーティング上に強度増強及び/または疎水性増強層を形成するのに有効な条件下で被覆を行う工程を含む方法によって、作られる表面被覆付ナノポーラスシリカ誘電体膜。

IPC (2)：

H01L 21/312 ,  H01L 21/316

FI (2)：

H01L 21/312 C ,  H01L 21/316 G

F-Term (13)：

5F058AA10 ,  5F058AC03 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AG10 ,  5F058AH02 ,  5F058BA20 ,  5F058BC05 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BH20 ,  5F058BJ02