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J-GLOBAL ID：200903082526681527
ボンベ漏洩ガス除去装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993061245
Publication number (International publication number)：1995055099
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 半導体製造などで使用される特殊材料ガスが充填されたボンベの運搬および貯蔵時などに、万一有毒ガスが漏洩しても安全に処理でき、しかも、構造が簡単で、取扱操作の容易な装置を得る。【構成】 吸気孔1および排気孔2を有し、ボンベ6,7,8の頭部に気密に装着できるオーバーキャップ3,4,5、除害筒11、ブロワー15およびこれらを接続する連絡管などによって構成する。
Claim (excerpt)：
有毒ガスが充填されたボンべから漏洩するガスを除去するためのボンベ漏洩ガス除去装置において、ボンベの頭部を覆うオーバーキャップであって吸気孔、排気孔およびボンベへの装着機構を有するオーバーキャップと、ガスの入口および出口を有し、内部に有毒ガスの除去剤が充填された除害筒と、該除害筒のガスの出口と接続された排気ブロワーとを備えてなり、前記オーバーキャップの排気孔の少なくとも1つが除害筒の入口と接続され、排気ブロワーを起動することによって、オーバーキャップ内に漏洩した有毒ガスが除害筒に導かれるようにされてなることを特徴とするボンベ漏洩ガス除去装置。
IPC (2)：
F17C 13/00
, B01D 53/34 ZAB
