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J-GLOBAL ID：200903082530528776

強誘電体膜形成用組成物および形成法

Inventor： 小木 勝実 ,  内田 寛人 ,  曽山信幸 ,  善 英喜
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 広瀬 章一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993182795
Publication number (International publication number)：1994338222
Application date： Jul. 23, 1993
Publication date： Dec. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 金属アルコキシドおよび/または有機酸塩を含有する塗布液を塗布し、加熱・焼成するル-ゲル法によるペロブスカイト型強誘電体膜 (PLZT、PZT 、PT膜) の形成における改良。【構成】 塗布液中に金属元素の合計グラム原子数に対して 0.5〜3倍のモル数の酸化剤 (例、過酸化水素) を加える。

Claim (excerpt)：

Pb、La、Zr、Tiから選ばれた2種以上の金属のアルコキシド、その部分加水分解物、および/または有機酸塩を、一般式:Pb<SB>1-x </SB>La<SB>x </SB>(Zr<SB>y </SB>Ti<SB>1-y</SB>)<SB>1-x/4</SB>O<SB>3</SB> (式中、0≦x<1、0≦y≦1)で表される組成に相当する比率で溶媒中に含有し、さらにこれら金属元素の合計グラム原子数に対して 0.5〜3倍のモル数の酸化剤を含有することを特徴とする、強誘電体膜形成用組成物。

IPC (5)：

H01B 3/12 319 ,  C04B 35/49 ,  H01G 4/06 101 ,  H01G 4/10 ,  H01G 4/12 415

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭60-236404
  
• 特開平2-293324
  
• 特開昭60-236404
  
• 特開平2-293324