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J-GLOBAL ID:200903082558375738

水置換乾燥方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 奈良 武
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996070385
Publication number (International publication number):1997255994
Application date: Mar. 26, 1996
Publication date: Sep. 30, 1997
Summary:
【要約】【課題】 リンスに使用した水を置換し、さらに繰り返しを行う。【解決手段】 水を置換する溶剤として、プロピレングリコールまたはその誘導体、炭酸ジアルキルエステルまたはエーテル等の温度上昇とともに水の溶解度が上昇する有機溶剤を用いる。高温で水を溶解して被洗浄物から水を除去する。その後、冷却することで水を分離し、再使用する。
Claim (excerpt):
被洗浄物に付着した水を溶剤で置換した後に乾燥させる水置換乾燥方法において、上記溶剤として、温度上昇とともに水の溶解度が上昇する有機溶剤を用いることを特徴とする水置換乾燥方法。
IPC (2):
C11D 7/50 ,  C23G 5/032
FI (2):
C11D 7/50 ,  C23G 5/032

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