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J-GLOBAL ID：200903082592962774

光走査装置

Inventor： 佐藤 幸人
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 鈴木 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001070304
Publication number (International publication number)：2002267994
Application date： Mar. 13, 2001
Publication date： Sep. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】 光走査装置において、ミラー基板と固定電極の間隔のばらつきによるミラー基板の振動の不安定化を解消する。【解決手段】 梁102,103で支持されたミラー基板101を駆動するための固定電極108、109をそれぞれ2以上に分割する。各分割電極に印加する電圧を調整することにより、ミラー基板端に作用する静電引力を均一化することにより、ミラー基板の往復振動を安定化する。

Claim (excerpt)：

梁によって支持されたミラー基板と、このミラー基板に近接して設けられた固定電極との間に電圧を印加し、ミラー基板と固定電極と間の静電力によりミラー基板を交互に逆向きに駆動することによって、梁をねじり回転軸としてミラー基板を往復振動させる光走査装置であって、ミラー基板を各向きに駆動するための固定電極が2以上に分割された固定電極からなることを特徴とする光走査装置。

IPC (3)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  G02B 26/08

FI (3)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/08 E ,  B41J 3/00 D

F-Term (8)：

2C362BA17 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB02 ,  2H045AB10