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J-GLOBAL ID：200903082600709749

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
伊與木 誠人

About 伊與木 誠人


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998148117
Publication number (International publication number)：1999337560
Application date： May. 28, 1998
Publication date： Dec. 10, 1999
Summary：
【要約】【課題】 先端に微小な探針を有するカンチレバーを加振しながら、サンプルに近接させた場合に探針とサンプル表面間に働く物理的な特性により、カンチレバーの振幅を変化させ、その時の振幅の変化量から、サンプルの表面性状を測定する走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーホルダ部において、カンチレバーのQ 値のコントロールが可能となるような構造とする。【解決手段】 第1 のアクチュエータ3 を基板2 に固定し、第1 のアクチュエータ3 の加振力がカンチレバー5 に伝達するようにカンチレバー5 を載置し、カンチレバーの平板部5bを弾性部材7 に接触させ、もう一方の平板部5a側に第2 のアクチュエータ4 を介在させて、第2 のアクチュエータ4 でカンチレバー5 を弾性部材7 に押し付けるような構成とする。
Claim (excerpt)：
先端に微小な探針を有するカンチレバーを加振しながら、サンプルに近接させた場合に探針とサンプル表面間に働く物理的な特性により、カンチレバーの振幅を変化させ、その時の振幅の変化量から、サンプルの表面性状を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバーを保持するカンチレバーホルダ部が、基板と、前記カンチレバーを加振するための第1のアクチュエータと、カンチレバーを保持する押え板と、基板および押え板に対して弾性的な性質を有する弾性部材と、カンチレバーの保持力を変化させる第2のアクチュエータから成り、第1 のアクチュエータを基板に固定し、該第1のアクチュエータの加振力が前記カンチレバーに伝達するようにカンチレバーを載置し、前記カンチレバーの平板部を弾性部材に接触させ、もう一方の平板部側に第2のアクチュエータを介在させて、第2のアクチュエータでカンチレバーを弾性部材に押し付けることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (3)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 D ,  G01B 21/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (19)
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