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J-GLOBAL ID：200903082617818517

絶対湿度センサ

Inventor： リー,ドン・ヒー ,  ブー,ジョン・アク
Applicant, Patent owner： エルジー エレクトロニクス インコーポレーテッド
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001544014
Publication number (International publication number)：2003516538
Application date： Dec. 12, 2000
Publication date： May. 13, 2003
Summary：

【要約】電子レンジ用絶対湿度センサが開示されている。絶対湿度センサは、シリコン基板、基板上に形成され、大気中に露出された水分を感知して、感知された水分の量によって抵抗値が変わる湿度感知素子;基板上に形成され、湿度感知素子の抵抗値を補う温度補償素子;温度補償素子の上を覆い、温度補償素子の抵抗値が変わらないように大気中の水分を遮断する保護膜とからなる。湿度感知素子と温度補償素子は、基板上に形成される絶縁膜;絶縁膜上に形成されて水分を吸湿するポリイミド湿度感知膜;湿度感知膜の下又は上下に各々形成される電極からなる。このように構成される本発明はセラミック系統の湿度感知材料でシリコンウェハを基板に用いて湿度に敏感な絶対湿度センサを製作するとともにシリコン工程を用いてセンサを集積化できることでセンサの量産が容易である。

Claim (excerpt)：

シリコン基板、 前記基板上に形成され、大気中の水分を感知して、前記感知した水分の量によって抵抗値が変わる湿度感知素子; 前記基板上に形成され、前記湿度感知素子の抵抗値を補う温度補償素子; 前記温度補償素子を覆い、前記温度補償素子の抵抗値が変わらないように前記大気中の水分を遮断する保護膜とからなることを特徴とする絶対湿度センサ。

IPC (2)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/22

FI (3)：

G01N 27/12 G ,  G01N 27/12 K ,  G01N 27/22 A

F-Term (33)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC05 ,  2G046BF01 ,  2G046BJ02 ,  2G046BJ08 ,  2G046DC02 ,  2G046DC13 ,  2G046EB07 ,  2G046FA01 ,  2G046FE03 ,  2G046FE31 ,  2G046FE38 ,  2G060AB02 ,  2G060AC01 ,  2G060AE19 ,  2G060AF10 ,  2G060AF11 ,  2G060AG10 ,  2G060AG11 ,  2G060BA09 ,  2G060BB10 ,  2G060FA05 ,  2G060HA02 ,  2G060HC02 ,  2G060HC10 ,  2G060HE03 ,  2G060KA01 ,  2G060KA05