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J-GLOBAL ID：200903082620642756

ガラス基板の片面研摩方法

Inventor： 藤村 頼人 ,  柴野 由紀夫
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991317539
Publication number (International publication number)：1993123963
Application date： Nov. 05, 1991
Publication date： May. 21, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は研摩時におけるキズ、スクラッチの発生を防止し、フラットネスを向上させるガラス基板の片面研摩方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明によるガラス基板の片面研摩方法は、プレッシャープレートと研摩定盤とよりなる片面研摩機において、プレッシャープレート側キャリア内部にクロスを張りつけた研摩機を用いることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

プレッシャープレート(上側)と研摩定盤(下側)とからなり、プレッシャープレートが揺動することで研摩する片面研摩機において、プレッシャープレート側キャリア内部にクロスを張りつけた研摩機を用いてなることを特徴とするガラス基板の研摩方法。