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J-GLOBAL ID：200903082644813047

ガス検出方法及びガス検出装置

Inventor： 平木 英朗
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995000624
Publication number (International publication number)：1996189887
Application date： Jan. 06, 1995
Publication date： Jul. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 不活性ガス中に存在するその分解ガスなどを高感度かつ長期的に検出できるガス検出方法及びその装置を提供することを目的とする。【構成】 金属酸化物からなるガス吸着膜を設けた素子、素子を加熱する手段及び素子を冷却する手段を収納する容器(31)と、素子の周囲を検出対象となる不活性ガスの分解ガスを含まない雰囲気に調整する真空ポンプ(46)と、容器内に被検ガスを導入する手段と、加熱手段、冷却手段、雰囲気調整手段及び被検ガス導入手段を駆動する駆動回路(49)と、素子の特性変化を電気信号に変換する発振回路(48)とを有するガス検出装置。

Claim (excerpt)：

金属酸化物からなるガス吸着膜を設けた素子を用い、素子の特性変化に基づいて不活性ガス中に存在するその分解ガスを検出するにあたり、昇温することによりガス吸着膜に吸着したガスを脱離させた後、所定の検出動作温度まで降温し、検出動作温度における素子の特性変化に基づいて前記分解ガスを検出することを特徴とするガス検出方法。