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J-GLOBAL ID：200903082673483765

静電チャック装置及び静電チャックの離脱方法

Inventor： 塩田 活 ,  鈴木 朗 ,  川村 剛平
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 井上 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996034415
Publication number (International publication number)：1997213780
Application date： Jan. 29, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 裏面に熱酸化膜などの絶縁層が形成されているウエハを、酸化アルミニウム(Al2 O3 )や窒化アルミニウム(AlN)などのセラミックスを用いた静電チャックに吸着保持させるにあたって、ウエハの離脱を容易にし、ウエハの割れを防止すること。【解決手段】 ウエハWを静電チャック3に吸着させるときに電極4A、4B間に印加した直流電圧と逆極性の直流電圧(逆電圧)を離脱時に印加する。離脱可能な逆電圧の範囲は、吸着時の直流電圧V1とウエハWの温度とに依存しており、このため、予めこれらの関係を試験により把握しておき、そのデータに基づき、直流電圧V1とウエハの温度とに応じて、逆電圧の値を制御手段により適切な値に調整する。

Claim (excerpt)：

載置台の載置面部を誘電体により構成すると共に、この誘電体の中に一対の電極を設けて静電チャックを構成し、前記電極間に吸着用の直流電圧を印加して、被保持体を前記誘電体に静電吸着する静電チャック装置において、前記一対の電極間に吸着用の直流電圧とは逆の極性の直流電圧である逆電圧を離脱時に印加するための逆電圧印加手段と、吸着用の直流電圧値と被保持体の温度とに応じて前記逆電圧値を調整する制御手段と、を備えたことを特徴とする静電チャック装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-230051
  
• 試料の離脱方法及び該方法に使用する試料保持装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-225381   Applicant：住友金属工業株式会社