固体撮像装置およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小笠原史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004109320
Publication number (International publication number)：2005294647
Application date： Apr. 01, 2004
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：

【課題】本発明の目的は、斜め光による混色をより防止することができる固体撮像装置を提供することである。【解決手段】複数の受光素子2は、半導体基板1の主面上に規定された受光領域において、マトリクス状に形成される。遮光膜3は、受光領域の上層に形成され、各受光素子2のそれぞれに対応する複数の開口領域4を有する。カラーフィルタ6は、各開口領域4の上層に形成され、入射してくる光の内、所定の色を有する光のみを、対応する開口領域4に透過する。遮光壁7は、互いに隣接するカラーフィルタ6同士の間を壁面によって仕切る。当該遮光壁7の壁面は、少なくとも、複数のカラーフィルタ6の内の、最も下層に位置するカラーフィルタ6の下層側の主面と、最も上層に位置するカラーフィルタ6の上層側の主面との間において連続した状態で存在する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

半導体基板と、前記半導体基板の主面上に規定された受光領域において、マトリクス状に形成された複数の受光素子と、前記受光領域の上層に形成され、各前記受光素子のそれぞれに対応する複数の開口領域を有する遮光膜と、各前記開口領域の上層に形成され、入射してくる光の内、所定の色を有する光のみを、対応する開口領域に透過する複数のカラーフィルタと、互いに隣接する前記カラーフィルタ同士の間を壁面によって仕切る遮光壁とを備え、前記遮光壁の壁面は、複数のカラーフィルタの内の、最も下層に位置するカラーフィルタの下層側の主面と、最も上層に位置するカラーフィルタの上層側の主面との間において連続した状態で存在することを特徴とする、固体撮像装置。

IPC (4)：

H01L27/14 , H01L31/10 , H04N5/335 , H04N9/07

FI (4)：

H01L27/14 D , H04N5/335 U , H04N9/07 D , H01L31/10 A

F-Term (34)：

4M118AA05 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118BA14 , 4M118FA06 , 4M118GB03 , 4M118GB07 , 4M118GB10 , 4M118GB11 , 4M118GB13 , 4M118GB18 , 4M118GB19 , 4M118GC08 , 4M118GC09 , 4M118GC14 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024CY47 , 5C024DX01 , 5C024EX22 , 5C024EX43 , 5C024EX52 , 5C024GX03 , 5C024GY01 , 5C065BB19 , 5C065BB44 , 5C065CC01 , 5C065DD02 , 5C065DD22 , 5C065EE03 , 5F049NA20 , 5F049NB05 , 5F049SZ08 , 5F049SZ10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特公平8-8344号公報

Return to Previous Page