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J-GLOBAL ID：200903082705997073

空間フィルタ、空間フィルタの作成方法、空間フィルタ作成プログラム、画面欠陥の検査方法及び装置

Inventor： 小島 広一 ,  野田 正明 ,  市川 裕也
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (4)： 小林 久夫 ,  佐々木 宗治 ,  木村 三朗 ,  大村 昇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003032041
Publication number (International publication number)：2004239870
Application date： Feb. 10, 2003
Publication date： Aug. 26, 2004
Summary：

【課題】検査対象の画面欠陥の状態に合わせてフィルタ構成数値を遺伝的アルゴリズムを用いて自動計算させることにより微調整ができるようにして、検出力を向上させた空間フィルタおよびその作成方法、並びにその空間フィルタを作成するための自動計算プログラム、並びにその空間フィルタを用いた画面欠陥の検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】遺伝的アルゴリズムを用いて、構成数値が実数のフィルタを作成する。また、検査対象の画面をCCDカメラ6により撮像し、撮像により取り込まれた画像から、予め作成しておいた背景画像14との差をとり検査画像15を作成し、検査画像に対し前記空間フィルタを用いて欠陥強調のためのフィルタ処理を行い、フィルタ処理後における画像16内の各画素の輝度データを統計計算し、その輝度統計データに基づいて閾値を決定し欠陥候補を抽出する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

遺伝的アルゴリズムを用いて作成した画像処理用の空間フィルタであって、前記空間フィルタを構成するフィルタ数値が実数からなることを特徴とする空間フィルタ。

IPC (5)：

G01M11/00 ,  G01N21/958 ,  G06T1/00 ,  G06T5/20 ,  G06T7/00

FI (5)：

G01M11/00 T ,  G01N21/958 ,  G06T1/00 300 ,  G06T5/20 A ,  G06T7/00 200C

F-Term (23)：

2G051AA41 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051BB07 ,  2G051BB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G086EE10 ,  5B057AA20 ,  5B057CE03 ,  5B057CE06 ,  5B057CH09 ,  5B057DA03 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096JA28