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J-GLOBAL ID:200903082711448103
液晶表示素子用電極基板およびその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
大原 拓也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995154006
Publication number (International publication number):1996327990
Application date: May. 29, 1995
Publication date: Dec. 13, 1996
Summary:
【要約】【目的】 透明電極間にインク材よりなる遮光膜を透明電極との間に段差を生じないように形成する。【構成】 透明基板10上の遮光膜が形成される位置に、その遮光膜と透明電極との膜厚差とほぼ等しい深さの溝11を形成するとともに、その溝11の内面を含めて透明基板10上に透明電極母層12を成膜し、さらにその透明電極母層12上にフォトレジスト13を塗布し、所定のパターンを有するマスク14を介してそのフォトレジスト13を露光し、現像して溝11に相当する部分のフォトレジストを除去した後、その溝11内に形成されている透明電極母層12をエッチングにより除去して電気的に絶縁された複数の透明電極12aを形成し、次に遮光性を有するインク材15を塗布して同インク材を溝11内に充填し硬化させて同溝11内に遮光膜15aを形成し、しかる後余分のインク材を各透明電極12a上に残されているフォトレジスト13とともに除去する。
Claim (excerpt):
透明基板上に所定のパターンをもって複数の透明電極が形成され、かつ、それら各透明電極の間に同透明電極よりも厚膜のインク材よりなる遮光膜を備えている液晶表示素子用電極基板において、上記透明電極の間に、上記遮光膜と透明電極との膜厚差とほぼ等しい深さの溝を備え、同溝内にインク材よりなる遮光膜が形成されていることを特徴とする液晶表示素子用電極基板。
IPC (3):
G02F 1/1333 500
, G02F 1/1343
, G02F 1/1345
FI (3):
G02F 1/1333 500
, G02F 1/1343
, G02F 1/1345
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