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J-GLOBAL ID：200903082715147590

コンタクトプローブおよびその製造方法

Inventor： 羽賀 剛 ,  奥村 勝弥 ,  早坂 伸夫 ,  柴田 英毅 ,  松永 範昭
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 深見 久郎 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000164407
Publication number (International publication number)：2001343397
Application date： Jun. 01, 2000
Publication date： Dec. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】 狭ピッチ化に対応すべく、より微細なコンタクトプローブおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 コンタクトプローブは、リソグラフィの工程とめっきの工程を含む製造方法によって製作され、被検査回路に接触させるためのプランジャ部1と、スプリング部2と、リード線接続部3とが一定の平面形状に対して上記平面形状に垂直な板厚方向に均一に厚みをもたせた立体形状となるように一体形成されている。好ましくは、スプリング部2と平行にガイド部6も一体形成されている。さらに好ましくは、板ばねからなるスプリング部2の単位形状ごとにストッパ部7も含む形で一体形成されている。

Claim (excerpt)：

被検査回路に接触させるためのプランジャ部と、一端において前記プランジャ部を支持するスプリング部と、前記スプリング部の他端をリード線に電気的に接続するリード線接続部とを備え、前記プランジャ部と前記スプリング部と前記リード線接続部とが一体形成された、コンタクトプローブ。

IPC (3)：

G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01R 1/067 C ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

F-Term (17)：

2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG12 ,  2G011AA02 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB03 ,  2G011AB05 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC14 ,  2G011AC33 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• プロ-ブ針およびスプリングプロ-ブ用バネの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-143970   Applicant：武田産業株式会社, 科学技術振興事業団
• 特開昭55-133550
  
• コンタクト・プローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-281451   Applicant：日本電気株式会社