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J-GLOBAL ID：200903082743763736

耐久性のあるスパッターされた金属酸化物コーティング

Inventor： ジェームズ ジョセフ フィンリー ,  メーラン アルバブ
Applicant, Patent owner： ピーピージー インダストリーズ, インコーポレーテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994277965
Publication number (International publication number)：1995197250
Application date： Nov. 11, 1994
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：

【要約】【目的】 耐久性のある金属酸化物フィルムのコーティング方法の提供。【構成】 陰極スパッターによる硬質金属フィルムの製造方法において、a.不活性ガス及び反応性ガスからなる雰囲気からなる真空チャンバーに基体を置く工程、b.金属陰極ターゲットをスパッターする工程とからなり、更に、反応性ガス濃度が、金属が金属モードでスパッターされて、金属フィルムを蒸着するのに充分に低いことを特徴とする前記硬質金属フィルムの製造方法。

Claim (excerpt)：

陰極スパッターによる硬質金属フィルムの製造方法において、a.不活性ガス及び反応性ガスからなる雰囲気からなる真空チャンバーに基体を置く工程、b.金属陰極ターゲットをスパッターする工程とからなり、更に、反応性ガス濃度が、金属が金属モードでスパッターされて、金属フィルムを蒸着するのに充分に低いことを特徴とする前記硬質金属フィルムの製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/14