Pat

J-GLOBAL ID：200903082755672604

感放射線レジスト組成物の製造方法

Inventor： 金築 重佳 ,  田村 一貴
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996030504
Publication number (International publication number)：1997221601
Application date： Feb. 19, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物および溶剤を含む感放射線レジスト組成物の保存中に生じていた、感放射線性化合物に由来する結晶性異物の析出および微細な固形物粒子の発生を極力抑制するためのレジスト組成物の製造方法を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物および溶剤を含む感放射線レジスト組成物の製造方法であって、一段階目に感放射線レジスト組成物中の該アルカリ可溶性樹脂の濃度を所定の濃度より低い組成物を調製すること、および二段階目に、該組成物にさらにアルカリ可溶性樹脂を追加して所定の濃度とすることを特徴とする感放射線レジスト組成物の製造方法。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物および溶剤を含む感放射線レジスト組成物の製造方法であって、一段階目に感放射線レジスト組成物中の該アルカリ可溶性樹脂の濃度を所定の濃度より低い組成物を調製すること、および二段階目に、該組成物にさらにアルカリ可溶性樹脂を追加して所定の濃度とすることを特徴とする感放射線レジスト組成物の製造方法。

IPC (4)：

C08L101/00 LTB ,  C08K 5/28 KBC ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/023 511

FI (4)：

C08L101/00 LTB ,  C08K 5/28 KBC ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/023 511