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J-GLOBAL ID：200903082758031081
近接場走査型顕微鏡の光プローブ保持装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994232843
Publication number (International publication number)：1996094650
Application date： Sep. 28, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】近接場走査型顕微鏡の光プローブを確実に保持するとともに、容易に交換することのできるプローブ保持装置を提供する。【構成】プローブ5を挿入する空隙部を備えたプローブ保持部材12と、プローブ保持部材12を締め付ける締め付け部材13とを有する。プローブ保持部材12の空隙部のプローブと接触する部分は、弾性材料で構成されている。
Claim (excerpt)：
試料を搭載する試料台と、光源と、光プローブと、光プローブを前記試料に近接させて保持する保持装置と、前記試料で散乱された光を検出する検出光学系と、前記試料を前記光プローブに対して相対的に走査させる走査手段とを有し、前記光プローブは、前記光源からの光を入射させるための入射口、および、前記光源の光の波長よりも小さい出射口を備え、前記保持装置は、前記光プローブを挿入する空隙部を備えたプローブ保持部材と、前記光プローブ保持部材を締め付ける締め付け部材とを有し、前記光プローブ保持部材のうち、少なくとも前記光プローブと接触する部分は、弾性材料で構成されていることを特徴とする近接場走査型顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
