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J-GLOBAL ID：200903082808387656

圧電ジャイロ

Inventor： 若月 昇 ,  菊池 一二 ,  谷内 雅紀 ,  山田 澄夫 ,  小野 正明
Applicant, Patent owner： 富士通メディアデバイス株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000143729
Publication number (International publication number)：2001324332
Application date： May. 16, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明は振動体として圧電体を用いた圧電ジャイロに関し、電極構造の簡単化を図ることを課題とする。【解決手段】圧電体により形成されており、ベース部22と、駆動部となる上部アーム部23,24と、検出部となる下部アーム部25,26とにより構成された振動体21と、上部アーム部23,24に配設された上部電極30〜37と、下部アーム部25,26に配設された下部電極40〜43とを具備する圧電ジャイロにおいて、振動体21を構成する圧電体として分極反転圧電単結晶を使用する。

Claim (excerpt)：

圧電体により形成されており、駆動部と検出部とにより構成される振動体と、該駆動部に配設された駆動電極と、該検出部に配設された検出電極とを具備する圧電ジャイロにおいて、前記圧電体として、分極反転圧電単結晶を使用したことを特徴とする圧電ジャイロ。

IPC (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18

FI (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 A

F-Term (11)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB04 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 圧電振動ジャイロ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-140469   Applicant：富士通株式会社
• 圧電ジャイロおよびその駆動方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-171814   Applicant：富士通株式会社
• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-082317   Applicant：松下電器産業株式会社
• 振動ジャイロ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-282986   Applicant：株式会社村田製作所