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J-GLOBAL ID：200903082836582650

レーザ顕微鏡

Inventor： 澤田 雅年
Applicant, Patent owner： 石川島播磨重工業株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993051067
Publication number (International publication number)：1994265791
Application date： Mar. 11, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 試料表面に色や物性、組成等が異なる部分がある場合に、それを識別し得るレーザ顕微鏡を提供する。【構成】 試料に対してレーザ光2aを照射し、その反射光2bを光電子増倍管42により受光して増幅することによって試料の拡大画像を得る。光電子増倍管の前段に、反射光中に含まれる特定波長の光のみを透過させて他の波長の光は遮蔽するフィルタ50を設置する。特性の異なる複数のフィルタを備えてそれらフィルタのいずれかを選択的に使用し得る構成のフィルタ装置40を備えることが好ましい。

Claim (excerpt)：

試料に対してレーザ光を照射し、その反射光を光電子増倍管により受光して増幅することによって試料の拡大画像を得る構成のレーザ顕微鏡であって、反射光中に含まれる特定波長の光のみを透過させて他の波長の光は遮蔽するフィルタを前記光電子増倍管の前段に設置してなることを特徴とするレーザ顕微鏡。

IPC (3)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 ,  H01S 3/00