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J-GLOBAL ID：200903082837242128
ワーク表面検査方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
千葉 剛宏 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991337263
Publication number (International publication number)：1993172757
Application date： Dec. 19, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】取り込み画像データに対して必要に応じて膨張収縮処理を施すことにより、画像処理時間を減少させ、全体の検査時間の短縮化が可能となるワーク表面検査方法を提供することを目的とする。【構成】検出手段により取り込まれた画像を二値化して画像処理を行う場合に、被測定面が平面であるか否かを判定し、被測定面が曲面の場合のみ膨張収縮処理を行い、被測定面が平面の場合には前記膨張収縮処理過程を省く。したがって、膨張収縮処理に要する画像処理時間が短縮され、全体の検査時間が減少する。
Claim (excerpt)：
被測定面に向かって検出光を照射する投光手段と、該被測定面からの前記検出光の反射光を受光する検出手段と、前記反射光を前記検出手段の受光面に収束させる集光光学系とを備えた表面検査装置を用いて、曲面を有するワークの表面を検査する方法であって、前記表面検査装置をワーク表面に沿って順次変位させ、前記検出光を前記検出手段により受光し、画像データを保持する過程と、該画像データを二値化する過程と、被測定面が平面であるか否かを判定する過程と、被測定面が平面でない場合、二値化画像データに対して膨張収縮処理を施す過程と、からなることを特徴とするワーク表面検査方法。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G06F 15/62 400
