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J-GLOBAL ID：200903082876388300
微細加工装置および微細加工方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995026799
Publication number (International publication number)：1996222174
Application date： Feb. 15, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】 原子オーダで制御された線状の構造を一度に作製することが可能な微細加工装置および微細加工方法を提供すること。【構成】 本発明装置は、探針を有し、前記探針の先端を基体に近接または接触させて基体を加工する走査型トンネル顕微鏡型微細加工装置において、前記探針の先端が2つの結晶劈開面が交差する稜線から構成されていることを特徴する。本発明方法は、探針を有し、前記探針の先端を基体に近接または接触させて基体を加工する微細加工方法において、2つの結晶劈開面が交差する稜線から構成されている探針の先端を基体に近接または接触させて、機械的または電気的に線状パターンを形成することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
探針を有し、前記探針の先端を基体に近接または接触させて基体を加工する走査型トンネル顕微鏡型微細加工装置において、前記探針の先端が2つの結晶劈開面が交差する稜線から構成されていることを特徴する微細加工装置。
IPC (3)：
H01J 37/30
, H01J 37/28
, G01N 37/00
H01J 37/30 Z
, H01J 37/28 Z
, G01N 37/00 C
