Pat

J-GLOBAL ID：200903082881239940

高透過率球状電極およびエネルギー分析装置

Inventor： 黒河 明 ,  一村 信吾 ,  吉原 一紘
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  科学技術庁金属材料技術研究所長
Agent (1)： 工業技術院電子技術総合研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994196110
Publication number (International publication number)：1996046004
Application date： Jul. 28, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 エネルギー分析装置において電極の荷電粒子の透過率を改善し、かつ荷電粒子の角度分布の再現をよくする。【構成】 高透過率球状電極は、それぞれ複数の孔を有し半径の異なる球状の複数の阻止電極が同心球状に配置され、複数の阻止電極の複数の孔はその中心が対応する各電極の孔毎に同心点からの同一放射線上に設けられている。

Claim (excerpt)：

それぞれ複数の孔を有し半径の異なる球状の複数の阻止電極が同心球状に配置され、前記複数の阻止電極の複数の孔はその中心が対応する各電極の孔毎に同心点からの同一放射線上に設けられていることを特徴とする高透過率球状電極。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01T 1/36 ,  H05H 7/00