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J-GLOBAL ID：200903082893105222

洗浄方法

Inventor： 嶋田 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 梶原 辰也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000085549
Publication number (International publication number)：2001274134
Application date： Mar. 27, 2000
Publication date： Oct. 05, 2001
Summary：

【要約】【課題】 洗浄液噴射によるダメージを与えずにウエハを適正に洗浄する。【解決手段】 ウエハにダメージの検出可能なレジスト膜31を形成したダメージ検出用ウエハ30を準備する。ダメージ検出用ウエハ30にノズル13から洗浄液16を噴射してダメージを与える。レジスト膜31に形成されたダメージ32の個数をダメージ検出装置20によって検出する。その検出値とダメージの基準値との偏差に応じてウエハ洗浄装置10のノズル13のメガソニック発振機構の電流値を調整する。実際のウエハ1に対してノズル13から洗浄液16を噴射してウエハ1を洗浄する。【効果】 ダメージを与えずにウエハを洗浄できるため、洗浄の品質、信頼性を向上できる。

Claim (excerpt)：

ダメージ検出用被洗浄面に洗浄液を噴射してダメージを検出し、この検出値とダメージの基準値との偏差に応じて洗浄装置の洗浄強度を補正し、洗浄強度の補正された洗浄装置の洗浄液を実際の被洗浄面に噴射することを特徴とする洗浄方法。

IPC (5)：

H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/10 ,  B08B 3/12

FI (5)：

H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 643 D ,  B08B 3/02 B ,  B08B 3/10 A ,  B08B 3/12 C

F-Term (11)：

3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BB45 ,  3B201BB83 ,  3B201BB93 ,  3B201CB01 ,  3B201CC21 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43