Pat

J-GLOBAL ID：200903082929643331

シリコンカンチレバー及びこれを用いた超音波センサー

Inventor： 藤井 孝則 ,  竹内 孝介
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 鳥居 洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994061097
Publication number (International publication number)：1995274288
Application date： Mar. 30, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、歩留まり良く作成できるカンチレバーを提供することを目的とする。【構成】 この発明は、Si基板1に設けられた凹部11に自由端が延出され、少なくとも基端部がSi基板1と連結されたSiO2 膜20からなるシリコンカンチレバー2であって、シリコンカンチレバー2の基端部はSi基板1に設けられた凹部11の2辺11a,11bと連結している。

Claim (excerpt)：

シリコン基板に設けられた凹部に自由端が延出され、少なくとも基端部がシリコン基板と連結された二酸化シリコン薄膜からなるシリコンカンチレバーであって、前記カンチレバーの基端部はシリコン基板に設けられた凹部の2辺と連結していることを特徴とするシリコンカンチレバー。