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J-GLOBAL ID:200903082935938653

原子間力顕微鏡用マイクロカンチレバーチップ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992109731
Publication number (International publication number):1993302829
Application date: Apr. 28, 1992
Publication date: Nov. 16, 1993
Summary:
【要約】【目的】AFMの取り付け機構に取り付ける際の取り付け作業が容易に行え、取扱い時のカンチレバーおよび探針の保護が可能な原子間力顕微鏡用マイクロカンチレバーチップを提供することにある。【構成】マイクロカンチレバーチップ本体1の端面に、これに対して外側に延出するようにカンチレバー2が形成され、このカンチレバー2に探針3が形成されたマイクロカンチレバーチップに、この保護を兼ねた断面ほぼL形の治具4が装着されたもの。
Claim (excerpt):
マイクロカンチレバーチップ本体の端面に、これに対して外側に延出するようにカンチレバーが形成され、このカンチレバーに探針が形成されたマイクロカンチレバーチップと、このマイクロカンチレバーチップを載せた基台と、この基台から突出した保護用の突出部とを有する原子間力顕微鏡用マイクロカンチレバーチップ。
IPC (2):
G01B 21/30 ,  H01J 37/28

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