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J-GLOBAL ID：200903082982508837
プローブカード
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996196393
Publication number (International publication number)：1998038924
Application date： Jul. 25, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 従来のプローブカードでは、テストスピードを高速化できない、エリアアレイのパッドに対応させるのは困難である、チップパッドの更なる微細ピッチ化に対応することができないという問題がある。また、メンブレン型プローブカードでは、バンプごとに高さ方向の寸法公差を吸収できないため、全てのバンプをパッドに接触させるのは困難であるという問題がある。【解決手段】 所望の集積回路が形成されたウエハに対して電気的特性試験を行なうプローバのプローブカードは、中央部に開口部が形成された配線基板1及び補強板2と、基板1及び2に装着されて前記基板1及び2の開口から複数のプローブ7を弾性的にウエハ12に向けて突出させた、押え板3、弾性部材4、フィルム基板6及びガイド板9を組付けた一体部品とから成る。
Claim (excerpt)：
所望の集積回路が形成されたウエハに対して電気的特性試験を行なうプローバのプローブカードであって、中央部に開口部が形成された基板と、該基板に着脱自在に装着されて前記基板の開口から複数のプローブを弾性的に前記ウエハに向けて突出する一体部品と、から成ることを特徴とするプローブカード。
IPC (2)：
FI (2)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
