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J-GLOBAL ID：200903083003389187

誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法

Inventor： 松野 博光 ,  五十嵐 龍志 ,  平本 立躬
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993123160
Publication number (International publication number)：1994312130
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 大面積の被処理物を均一に、かつ高速で洗浄出来る洗浄方法を提供することである。【構成】 被洗浄物を酸素雰囲気下に配置し、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、nm単位で表した波長範囲165から190、もしくは、120から190の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射して該被洗浄物を洗浄する。

Claim (excerpt)：

被洗浄物を酸素雰囲気下に配置し、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、nm単位で表した波長範囲165から190、あるいは、120から190の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射して該被洗浄物を洗浄する事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。

IPC (7)：

B01J 19/12 ,  B08B 7/00 ,  C03C 23/00 ,  C04B 41/91 ,  C08J 7/00 303 ,  H01J 61/16 ,  H01L 21/304 341

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-144560
  
• 特開平2-280831
  
• 特開平2-299287