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J-GLOBAL ID：200903083030932950
窒化珪素セラミツクス接合用ガラス
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991301897
Publication number (International publication number)：1993004876
Application date： Nov. 18, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】 焼結助剤を含む窒化珪素セラミックスの接合用ガラスにおいて、接合強度を大きくし、また接合部分からのガス漏れや接合部分でのクラック発生を防止できるような接合用ガラスを提供することである。【構成】 上記目的を達成するための接合用ガラスとして、被接合体である窒化珪素セラミックスの焼結助剤のうち少なくとも一種以上の成分と、窒化珪素とを接合剤のガラス成分中に含有させる。特にY2O3- Al2O3-SiO2-Si3N4 系のオキシナイトライドガラスが好ましい。この場合は、 Y2O3 、Al2O3 及び SiO2 の合計重量とSi3N4 の重量との比率を7:3〜9.5 : 0.5 とすることが好ましい。
Claim (excerpt)：
被接合体である窒化珪素セラミックスの焼結助剤のうち少なくとも一種以上の成分と、窒化珪素とを少なくとも含有する、窒化珪素セラミックス接合用ガラス。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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